第416章 把辰芯微做成世界第一的芯片制造公司
193nm的干式dUV光刻机对阿斯麦来说，并不是多高大上的技术。
早在上个世纪90年代，他们就整了出来。
随后因为一个林姓的华裔研究出了浸没式技术。
其加入了台鸡电，在让台鸡电快速扩张的同时，也让阿斯麦成为了行业中的领头者。
在泥康这些日企苦苦研究干式光刻机的时候，他们的浸润式光刻技术，让阿斯麦一举成为了领先。
时至今天，阿斯麦已经研制了EUV光刻机，行业领先地位，再难撼动。
但是否意味着阿斯麦永远不会衰落呢？
并不是这样。
技术的突破，甚至是技术的更新，带来技术弯道超车，都可能让一个原本领先的技术公司，再次落后。
江奕辰就坚定地这么认为。
也不断地开展各类延伸性研究。
特别是自己的个人实验室，并不是江奕辰在主要研究光刻技术的时候，他们就闲着。
相反，江奕辰也给了不少的研究课题，让孙阳、罗钰牵头开展。
只要他们研究出来的技术，都进入江奕辰奕辰集团的技术鱼池。
一旦哪个技术获得应用，那么他们这些人也将会有巨大的技术分红。
如今大的技术不说，但江奕辰将一种电致发光材料交给他们研究之后，还真让他们整了新的东西。
不过江奕辰现在没有理会。
新光刻技术正在实验。
张成研究的高分子溶液暂时失败，找的数十个材料，虽然取得了一定效果，但却因为各种原因，没有办法采用。
唯独好一点的，制备纯度极高的溶液难度大不说，成本也高，还容易侵蚀衬底，让光刻的效果消散。
最后江奕辰把重点放在了孔连华的研究上。
孔连华研究的是一种特制的晶体。
在第一阶段研究的过程中，孔连华在江奕辰的提醒下就制备了超过10种的符合折光率条件的晶体。
全部超过超纯水的折光率。
其中最好的一种晶体，可以让光的波长，从193nm缩减到90nm。
这意味着可以轻易地制备14nm的芯片。
因为光的波长是横向尺寸，把光比作弯曲的钻头，弯曲成正弦波样子，那么弯曲一个来回，钻头的长就是波长。
用这个钻头来打孔，就会晃动，这是光波的打在被爆光的面上的精细程度。
如果采用多重曝光、鳍式场效应晶体管Fi技术，突破到7nn，甚至5nm估计也不成问题。
只是这种晶体的缺点也较多，特别是高温形变问题是难点中的难点。
光刻，是光在晶圆上进行雕刻，
光不断地冲击，会让晶圆发热。
在晶圆上面再加一个晶体，比增加一个透镜的难度要大得多。
最后选定的，是镓镁晶体。
这种晶体，在特殊的技术处理之后，能够适应较高的温度，高温形变上能够有效改善。
当然，这种也只是改善，并不能完全解决。
“江总，我们的专家们厉害，把这个系统破解了，增加了一道非接触式光刻系统。”孔连华解释道，“就是咱们这么一搞，出问题后要阿斯麦的工程师来修就不可能的事了。”
不仅不能让人来修，还不能让人知道。
江奕辰并没有直接回复，而是看着一片测试晶圆的情况。
“检测结果，28nm工艺。”
就这么一个测试，就达到了28nm工艺的极限。
显而易见，镓镁晶体给193nm的光刻机带来了巨大的质变。
“单片晶圆光刻后，晶体的温度达到了80度。”
“再高一些，这个误差就无法软件纠正了。”
孔连华郁闷地说道。
江奕辰摆手，“增设一个降温系统即可，准备一个类似双工件台的设备，在每次光刻一个晶圆后，镓镁晶体同步撤出散热，换新的晶体上。”
张成在旁边看着抚掌赞叹，“对啊，既然改都改了，咱们改得更合适一些就行了。”
孔连华点头应是，“这倒是，看起来我们可以给这个技术取个名字了。”
“就叫改良型非接触式193nm光刻机。”
江奕辰直接定下了名字。
他可不想随便把这个技术透露出去。
哪怕是使用的是什么样的晶体。
至于制备技术，那就更是机密中的机密。
江奕辰与这些人全部都签订了最严格的保密协议。
以确保技术不会外泄。
不过想想也比较困难，因为关键的技术江奕辰、孔连华亲自掌握的。
只要两人不外透，就不存在外泄的问题。
孔连华又建议道，“不过，193nm的光刻机，咱们想搞掉也不容易。”
“多研究研究，买不到，我们自己造，造出适合我们使用的，造出更适应未来芯片的光刻机，”江奕辰给众人打气。
光刻机自然是顶尖的技术，但一定会有取下的那么一天。
实验通过，一些小问题，在江奕辰的提醒下，孔连华和张成立马准备修改。
在一旁观摩的黄小婷更是高兴得不得了。
“太好了，江总，那我们辰芯微自己的生产线就可以造28nm芯片了！”
“再也不用看台鸡电的脸色了。”
黄小婷跟那边对接过，需要排队不说，要是没有一些表示，或是关系，那就更难了。
江奕辰看着眼前的生产线，出了车间，“继续买光刻机，争取买到3台193nm干式光刻机，把生产线再扩充2条。”
“如今的镓镁晶体带来的技术提升，可以让我们往更高的芯片制程前进，接下来你们的工作就是改进和优化工艺制程。”
“特别是多重曝光和鳍式场效应晶体管Fi技术。”
这两个技术，是有难度，但并非像是光刻机那样困难。
更多是工艺工程师提升制造工艺。
这就需要不断的经验积累以及工艺改进。
黄小婷顿时感觉压力满满，“江总，193nm干式光刻机，阿斯麦还是能买到的，就是新的需要钱，还得排队等。”
“我建议买二手的，先把线建起来。同时慢慢地排队。”
“可以。”江奕辰直接就同意了下来。
“可，这样下来，得花不少钱。”黄小婷有些纠结。
“买光刻机不要怕花钱，造个预算，把条子报过来。”江奕辰摆手离开，“钱不是你要考虑的，你要考虑的是花多少时间，把辰芯微做成华国，甚至世界第一的芯片制造公司。”
……
早在上个世纪90年代，他们就整了出来。
随后因为一个林姓的华裔研究出了浸没式技术。
其加入了台鸡电，在让台鸡电快速扩张的同时，也让阿斯麦成为了行业中的领头者。
在泥康这些日企苦苦研究干式光刻机的时候，他们的浸润式光刻技术，让阿斯麦一举成为了领先。
时至今天，阿斯麦已经研制了EUV光刻机，行业领先地位，再难撼动。
但是否意味着阿斯麦永远不会衰落呢？
并不是这样。
技术的突破，甚至是技术的更新，带来技术弯道超车，都可能让一个原本领先的技术公司，再次落后。
江奕辰就坚定地这么认为。
也不断地开展各类延伸性研究。
特别是自己的个人实验室，并不是江奕辰在主要研究光刻技术的时候，他们就闲着。
相反，江奕辰也给了不少的研究课题，让孙阳、罗钰牵头开展。
只要他们研究出来的技术，都进入江奕辰奕辰集团的技术鱼池。
一旦哪个技术获得应用，那么他们这些人也将会有巨大的技术分红。
如今大的技术不说，但江奕辰将一种电致发光材料交给他们研究之后，还真让他们整了新的东西。
不过江奕辰现在没有理会。
新光刻技术正在实验。
张成研究的高分子溶液暂时失败，找的数十个材料，虽然取得了一定效果，但却因为各种原因，没有办法采用。
唯独好一点的，制备纯度极高的溶液难度大不说，成本也高，还容易侵蚀衬底，让光刻的效果消散。
最后江奕辰把重点放在了孔连华的研究上。
孔连华研究的是一种特制的晶体。
在第一阶段研究的过程中，孔连华在江奕辰的提醒下就制备了超过10种的符合折光率条件的晶体。
全部超过超纯水的折光率。
其中最好的一种晶体，可以让光的波长，从193nm缩减到90nm。
这意味着可以轻易地制备14nm的芯片。
因为光的波长是横向尺寸，把光比作弯曲的钻头，弯曲成正弦波样子，那么弯曲一个来回，钻头的长就是波长。
用这个钻头来打孔，就会晃动，这是光波的打在被爆光的面上的精细程度。
如果采用多重曝光、鳍式场效应晶体管Fi技术，突破到7nn，甚至5nm估计也不成问题。
只是这种晶体的缺点也较多，特别是高温形变问题是难点中的难点。
光刻，是光在晶圆上进行雕刻，
光不断地冲击，会让晶圆发热。
在晶圆上面再加一个晶体，比增加一个透镜的难度要大得多。
最后选定的，是镓镁晶体。
这种晶体，在特殊的技术处理之后，能够适应较高的温度，高温形变上能够有效改善。
当然，这种也只是改善，并不能完全解决。
“江总，我们的专家们厉害，把这个系统破解了，增加了一道非接触式光刻系统。”孔连华解释道，“就是咱们这么一搞，出问题后要阿斯麦的工程师来修就不可能的事了。”
不仅不能让人来修，还不能让人知道。
江奕辰并没有直接回复，而是看着一片测试晶圆的情况。
“检测结果，28nm工艺。”
就这么一个测试，就达到了28nm工艺的极限。
显而易见，镓镁晶体给193nm的光刻机带来了巨大的质变。
“单片晶圆光刻后，晶体的温度达到了80度。”
“再高一些，这个误差就无法软件纠正了。”
孔连华郁闷地说道。
江奕辰摆手，“增设一个降温系统即可，准备一个类似双工件台的设备，在每次光刻一个晶圆后，镓镁晶体同步撤出散热，换新的晶体上。”
张成在旁边看着抚掌赞叹，“对啊，既然改都改了，咱们改得更合适一些就行了。”
孔连华点头应是，“这倒是，看起来我们可以给这个技术取个名字了。”
“就叫改良型非接触式193nm光刻机。”
江奕辰直接定下了名字。
他可不想随便把这个技术透露出去。
哪怕是使用的是什么样的晶体。
至于制备技术，那就更是机密中的机密。
江奕辰与这些人全部都签订了最严格的保密协议。
以确保技术不会外泄。
不过想想也比较困难，因为关键的技术江奕辰、孔连华亲自掌握的。
只要两人不外透，就不存在外泄的问题。
孔连华又建议道，“不过，193nm的光刻机，咱们想搞掉也不容易。”
“多研究研究，买不到，我们自己造，造出适合我们使用的，造出更适应未来芯片的光刻机，”江奕辰给众人打气。
光刻机自然是顶尖的技术，但一定会有取下的那么一天。
实验通过，一些小问题，在江奕辰的提醒下，孔连华和张成立马准备修改。
在一旁观摩的黄小婷更是高兴得不得了。
“太好了，江总，那我们辰芯微自己的生产线就可以造28nm芯片了！”
“再也不用看台鸡电的脸色了。”
黄小婷跟那边对接过，需要排队不说，要是没有一些表示，或是关系，那就更难了。
江奕辰看着眼前的生产线，出了车间，“继续买光刻机，争取买到3台193nm干式光刻机，把生产线再扩充2条。”
“如今的镓镁晶体带来的技术提升，可以让我们往更高的芯片制程前进，接下来你们的工作就是改进和优化工艺制程。”
“特别是多重曝光和鳍式场效应晶体管Fi技术。”
这两个技术，是有难度，但并非像是光刻机那样困难。
更多是工艺工程师提升制造工艺。
这就需要不断的经验积累以及工艺改进。
黄小婷顿时感觉压力满满，“江总，193nm干式光刻机，阿斯麦还是能买到的，就是新的需要钱，还得排队等。”
“我建议买二手的，先把线建起来。同时慢慢地排队。”
“可以。”江奕辰直接就同意了下来。
“可，这样下来，得花不少钱。”黄小婷有些纠结。
“买光刻机不要怕花钱，造个预算，把条子报过来。”江奕辰摆手离开，“钱不是你要考虑的，你要考虑的是花多少时间，把辰芯微做成华国，甚至世界第一的芯片制造公司。”
……